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    更新于 9月5日

    【校園招聘】研發工程師-曝光

    1.3-2萬·15薪
    • 合肥蜀山區
    • 無經驗
    • 碩士
    • 校園
    • 招1人

    職位描述

    芯片研發設計
    工作內容:
    1、設備操作與工藝優化
    (1)主導電子束曝光機(如 JEOL JBX 系列、NuFlare EBM)的日常操作、參數調試及量產導入,確保設備稼動率≥95%;

    (2)優化曝光工藝(如劑量控制、掃描速度),提升 CD(關鍵尺寸)均勻性至 ±2nm 以內,降低 OVL(套刻偏差)至 ±3nm;

    (3)參與光罩研發,解決工藝窗口窄、缺陷容忍度低等技術難點,良率提升目標≥10%;

    2、技術研發與問題解決

    (1)開發多電子束曝光(MEB)、納米壓印光刻(NIL)等先進技術,制定工藝驗證方案并推動量產。

    (2)分析曝光異常(如 Pattern 畸變、缺陷),運用魚骨圖、5Why 等方法定位根源,輸出改進報告并跟蹤閉環;

    (3)與 OPC(光學鄰近修正)團隊協作,優化版圖數據與曝光參數的匹配性,減少光刻誤差;

    3、數據管理與跨部門協作

    (1)實時監控曝光數據(如電流、劑量),利用 Python/Excel 進行統計分析,生成 SPC(統計過程控制)報告;

    (2)協調設備維護、工藝整合、質量檢測等部門,推動產線效率提升及良率優化;

    (3)參與客戶認證(如 HT-PSM、HM-PSM 光罩),提供技術文檔及工藝參數支持。


    任職要求:

    1、碩士及以上學歷,微電子、物理、材料科學等相關專業優先;

    2、 熟悉電子束曝光機操作及工藝調試,掌握 ebview、CATS 等軟件工具;

    3、了解半導體材料(光刻膠、石英基底)及潔凈室管理規范,能適應倒班及無塵室環境;

    4、具備 EUV 光罩、相移光罩(PSM)等先進技術知識,或參與過 OPC、MPC項目者優先;

    5、具備較強的問題解決能力與跨部門溝通能力,能獨立制定實驗方案并推動執行;

    6、通過CET6,熟練使用英語閱讀技術文檔,具備基礎口語溝通能力。

    工作地點

    合肥蜀山區合光光掩模科技(安徽)有限公司

    職位發布者

    李女士/人力資源專員

    昨日活躍
    立即溝通
    合光光掩模科技(安徽)有限公司
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