1、負責半導體運控方案的綜合設計;
2、高精度伺服調試,避免多軸耦合引起的振動,確保整機設備精度在1um以內;
3、抑制振動,通過分析與機械團隊合作,優化結構,提升精度;
4、設備的穩定性提升,提升設備的長期穩定性;
5、量產化推進,優化調試流程,提升調試效率。
任職要求:
1、本科及以上學歷,電氣,自動化,控制,電機等相關理工科背景;
2、5年以上高精度設備(半導體/光刻設備優先)伺服調試經驗,主導過1μm系統精度的機械導軌式項目落地;
3、熟悉半導體負責工藝設備伺服難點(整定時間過長,重復精度超差,多軸耦合干擾等),精通伺服調試,熟練掌握常用控制系統分析調試軟件;;
4、有多軸控制系統,前饋控制、高頻振動分析與抑制經驗。